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当前位置：教育论文中心首页--硕士论文--锗片的高速机械化学研磨工艺研究
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锗片的高速机械化学研磨工艺研究
 
     论文目录
 
摘要第1-5页
ABSTRACT第5-6页
目录第6-7页
第一章 绪论第7-15页
   ·论文的背景第7-8页
   ·单晶锗材料的性质、制备方法及应用第8-11页
   ·单晶锗片的高速机械化学研磨技术第11-13页
   ·固着磨料高速机械化学研磨的国内外研究状况第13-15页
第二章 固着磨料加工锗的机理及其微观去除原理研究第15-33页
   ·引言第15页
   ·高速机械化学研磨加工原理第15-16页
   ·工件与研磨盘的相对运动分析第16-20页
   ·锗片受力分析第20-22页
   ·单颗磨粒的切削作用分析第22-28页
   ·微裂纹产生机理第28-30页
   ·固着磨料机械化学材料去除原理第30-33页
第三章 单晶锗片研磨试验第33-42页
   ·引言第33页
   ·试验设备及工件的制备第33-39页
   ·试验方案设计第39-42页
第四章 试验结果与分析第42-52页
   ·试验结果第42-45页
   ·试验结果分析第45-51页
   ·结论第51-52页
第五章 结论与展望第52-53页
参考文献第53-56页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第56-57页
致谢第57页
 
 
论文编号BS1774385，这篇论文共57页
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