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全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 |
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论文目录 |
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摘要 | 第1-7页 | Abstract | 第7-10页 | 目录 | 第10-12页 | 第1章 绪论 | 第12-24页 | ·课题研究背景及意义 | 第12-14页 | ·相关领域的研究现状 | 第14-22页 | ·论文的主要研究内容和结构安排 | 第22-24页 | 第2章 全息光栅曝光系统与干涉条纹相位锁定 | 第24-50页 | ·引言 | 第24-25页 | ·平面全息光栅静态曝光系统 | 第25-26页 | ·干涉条纹相位变化对静态曝光的影响 | 第26-34页 | ·扫描干涉场曝光原理与系统组成 | 第34-41页 | ·工作模式与干涉条纹相位锁定 | 第41-48页 | ·静态相位锁定与动态相位锁定对比 | 第48-49页 | ·本章小结 | 第49-50页 | 第3章 移频式干涉条纹静态相位锁定 | 第50-64页 | ·引言 | 第50页 | ·移频式静态相位锁定方法研究 | 第50-55页 | ·移频式相位锁定系统的设计与实现 | 第55-61页 | ·实验设计与实验结果 | 第61-63页 | ·本章小结 | 第63-64页 | 第4章 动态相位锁定关键方法与技术研究 | 第64-84页 | ·干涉条纹动态相位锁定的基本原理 | 第64-65页 | ·外差干涉测量方法与纳米级精度测量 | 第65-74页 | ·差频计算板卡资源分配与高速数据采集 | 第74-77页 | ·相位锁定控制系统硬件与软件设计 | 第77-82页 | ·本章小结 | 第82-84页 | 第5章 动态相位锁定控制算法研究 | 第84-108页 | ·引言 | 第84-85页 | ·动态相位锁定参考值数学模型 | 第85-96页 | ·控制校正算法设计与仿真 | 第96-107页 | ·本章小结 | 第107-108页 | 第6章 动态相位锁定精度分析与实验结果 | 第108-136页 | ·引言 | 第108页 | ·动态相位锁定误差分析与精度计算 | 第108-122页 | ·实验结果与分析 | 第122-135页 | ·本章小结 | 第135-136页 | 第7章 总结与展望 | 第136-138页 | ·论文工作总结 | 第136-137页 | ·展望 | 第137-138页 | 参考文献 | 第138-146页 | 在学期间学术成果情况 | 第146-147页 | 指导教师及作者简介 | 第147-148页 | 致谢 | 第148-149页 |
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