| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 前言 | 第9页 |
| 1.2 半导体气敏传感器 | 第9-13页 |
| 1.3 气敏响应机理 | 第13-14页 |
| 1.4 CuO气敏传感器 | 第14-21页 |
| 1.4.1 纳米CuO作为主体传感材料的应用 | 第15-20页 |
| 1.4.1.1 CuO纳米线 | 第16-18页 |
| 1.4.1.2 CuO纳米棒 | 第18页 |
| 1.4.1.3 CuO纳米管 | 第18-19页 |
| 1.4.1.4 对纳米CuO气敏材料的掺杂 | 第19-20页 |
| 1.4.2 CuO作为掺杂剂的应用 | 第20-21页 |
| 1.5 本章小结 | 第21页 |
| 1.6 论文的研究目的、创新性和研究内容 | 第21-23页 |
| 1.6.1 研究目的 | 第21-22页 |
| 1.6.2 创新之处 | 第22页 |
| 1.6.3 主要研究内容 | 第22-23页 |
| 第二章 水溶液法制备不同形貌纳米CuO及其气敏性能研究 | 第23-46页 |
| 2.1 实验仪器及药品 | 第23-24页 |
| 2.2 不同形貌纳米CuO的制备 | 第24页 |
| 2.3 材料表征与气敏性能测试 | 第24-27页 |
| 2.3.1 扫描电子显微镜 | 第24页 |
| 2.3.2 X射线衍射仪 | 第24-25页 |
| 2.3.3 X射线光电子能谱 | 第25页 |
| 2.3.4 气敏性能测试 | 第25-27页 |
| 2.4 结果与讨论 | 第27-44页 |
| 2.4.1 零维CuO纳米粒子 | 第27-30页 |
| 2.4.1.1 零维CuO纳米粒子的物相分析及微观结构表征 | 第27-28页 |
| 2.4.1.2 零维CuO纳米粒子的气敏响应特性 | 第28-30页 |
| 2.4.2 一维CuO纳米线 | 第30-37页 |
| 2.4.2.1 一维CuO纳米线的物相分析及微观结构表征 | 第30-32页 |
| 2.4.2.2 一维CuO纳米线的气敏响应特性 | 第32-37页 |
| 2.4.3 二维CuO纳米片 | 第37-41页 |
| 2.4.3.1 二维CuO纳米片的物相分析及微观结构表征 | 第37-38页 |
| 2.4.3.2 二维CuO纳米片的气敏响应特性 | 第38-41页 |
| 2.4.4 不同形貌纳米CuO气敏性能差异比较 | 第41-44页 |
| 2.5 本章小结 | 第44-46页 |
| 第三章 磁控溅射法制备纳米CuO及其气敏性能研究 | 第46-60页 |
| 3.1 实验仪器及药品 | 第46-47页 |
| 3.2 CuO纳米粒子的磁控溅射法制备 | 第47页 |
| 3.3 材料表征与气敏性能测试 | 第47-48页 |
| 3.3.1 扫描电子显微镜 | 第47-48页 |
| 3.3.2 X射线衍射仪 | 第48页 |
| 3.3.3 X射线光电子能谱 | 第48页 |
| 3.3.4 气敏性能测试 | 第48页 |
| 3.4 结果与讨论 | 第48-58页 |
| 3.4.1 溅射条件对CuO纳米粒子的影响 | 第48-50页 |
| 3.4.2 磁控溅射法CuO纳米粒子的物相分析及微观结构表征 | 第50-51页 |
| 3.4.3 磁控溅射法CuO纳米粒子气敏传感器的气敏响应特性 | 第51-56页 |
| 3.4.4 磁控溅射法与水溶液法CuO气敏传感器的气敏性能差异比较 | 第56-58页 |
| 3.4.5 气敏测试前后气敏材料组成变化 | 第58页 |
| 3.5 本章小结 | 第58-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第69-71页 |
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