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当前位置:教育论文中心首页--硕士论文--热丝与射频等离子体化学气相沉积复合技术制备多晶硅薄膜及其性能研究
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热丝与射频等离子体化学气相沉积复合技术制备多晶硅薄膜及其性能研究
 
     论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-9页
1 绪论第9-20页
   ·太阳能资源概述第9-10页
     ·太阳能的优势第9页
     ·太阳能的利用第9-10页
     ·我国太阳能资源的分布第10页
   ·光伏技术与太阳能电池的发展第10-12页
     ·光伏技术的发展第10-11页
     ·太阳能电池的发展第11-12页
   ·太阳能电池的种类第12-15页
     ·硅太阳能电池第13-14页
     ·其它薄膜太阳能电池第14-15页
   ·硅基薄膜在其他领域的应用第15-18页
     ·有机发光二极管第15页
     ·场致发射平板显示器(FED)第15-16页
     ·薄膜晶体管液晶平板显示器(TFT-LCD)第16-18页
   ·薄膜沉积方法介绍第18-20页
     ·等离子增强化学气相沉积法第18-19页
     ·热丝化学气相沉积法第19页
     ·热丝-等离子增强化学气相沉积结合法第19-20页
2 实验方法与表征第20-26页
   ·实验设备与过程第20-21页
     ·实验设备第20页
     ·实验过程第20-21页
   ·薄膜的表征第21-26页
     ·拉曼散射第21-22页
     ·膜厚测试第22页
     ·X射线衍射(XRD)第22-23页
     ·紫外可见光吸收光谱第23-24页
     ·红外吸收光谱第24页
     ·原子力显微镜第24-26页
3 热丝距离对薄膜的影响第26-34页
   ·灯丝距离对薄膜晶化率的影响第26-29页
   ·灯丝距离对薄膜沉积速率的影响第29-30页
   ·灯丝距离对薄膜结构的影响第30-31页
   ·灯丝距离对薄膜光学性能的影响第31-32页
   ·本章小结第32-34页
4 射频功率薄膜的影响第34-41页
   ·射频功率对晶化率的影响第34-38页
   ·射频功率对薄膜表面形貌的影响第38-40页
   ·本章小结第40-41页
5 气体流量对薄膜的影响第41-52页
   ·气体流量对晶化率的影响第41-45页
   ·气体流量对薄膜形貌的影响第45-47页
   ·气体流量对薄膜晶体结构的影响第47-48页
   ·气体流量对薄膜键合结构的影响第48-49页
   ·气体流量对薄膜禁带宽度的影响第49-50页
   ·本章小结第50-52页
结论第52-53页
参考文献第53-57页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第57-58页
致谢第58-59页

 
 
论文编号BS187,这篇论文共59
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