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当前位置:教育论文中心首页--硕士论文--各向异性磁电阻传感器的研究
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各向异性磁电阻传感器的研究
 
     论文目录
 
摘要第1-4页
Abstact第4-6页
目录第6-9页
第一章 引言第9-19页
   ·磁敏传感器第9-11页
     ·磁敏传感器的研究意义第9页
     ·磁敏传感器的分类第9-11页
   ·各向异性磁电阻传感器第11-15页
     ·各向异性磁电阻效应第11-12页
     ·薄膜磁电阻元件第12-14页
     ·各向异性磁电阻传感器的应用现状与发展前景第14-15页
   ·本文的主要研究工作及进展第15-17页
 参考文献第17-19页
第二章 磁电阻薄膜研究第19-29页
   ·引言第19页
   ·实验第19-22页
     ·靶材的选择第19-20页
     ·薄膜制备装置第20-22页
     ·薄膜测试系统第22页
   ·薄膜性能第22-24页
   ·工艺因素影响第24-26页
     ·溅射时基片温度对薄膜性能的影响第24-25页
     ·溅射功率对薄膜性能的影响第25-26页
     ·讨论第26页
   ·本章小结第26-28页
 参考文献第28-29页
第三章 各向异性磁电阻传感器的结构设计与优化第29-40页
   ·引言第29页
   ·磁电阻薄膜图形第29-30页
   ·电极图形第30-34页
     ·电流偏置第30-32页
     ·电桥结构第32页
     ·电极排列第32-34页
   ·Barber的电极优化设计第34-38页
     ·Barber电极原理第34-35页
     ·有限元分析及优化设计第35-38页
   ·本章小结第38-39页
 参考文献第39-40页
第四章 磁电阻单元的制备第40-46页
   ·引言第40页
   ·磁电阻单元的工艺过程第40-42页
   ·磁电阻单元制备的关键工艺第42-44页
     ·磁电阻条腐蚀第42页
     ·Barber电极图形光刻第42-43页
     ·磁电阻单元的表面处理第43-44页
   ·本章小结第44-45页
 参考文献第45-46页
第五章 测试系统及传感器单元性能第46-56页
   ·引言第46页
   ·测试系统第46-50页
     ·亥姆霍兹线圈第47-48页
     ·压控电流源第48-49页
     ·恒流源第49页
     ·C8051F060目标板第49-50页
   ·测试结果与讨论第50-54页
     ·传感器单元输出曲线第50-51页
     ·不同角度的 Barber电极对应的输出曲线第51-53页
     ·桥臂电阻对输出曲线的影响第53页
     ·测试过程中的易磁化轴跳变第53-54页
   ·本章小结第54-56页
第六章 总结第56-58页
   ·论文总结第56页
   ·展望第56-58页
作者发表论文第58-59页
致谢第59页

 
 
论文编号BS1276088,这篇论文共59
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