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各向异性磁电阻传感器的研究 |
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论文目录 |
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摘要 | 第1-4页 | Abstact | 第4-6页 | 目录 | 第6-9页 | 第一章 引言 | 第9-19页 | ·磁敏传感器 | 第9-11页 | ·磁敏传感器的研究意义 | 第9页 | ·磁敏传感器的分类 | 第9-11页 | ·各向异性磁电阻传感器 | 第11-15页 | ·各向异性磁电阻效应 | 第11-12页 | ·薄膜磁电阻元件 | 第12-14页 | ·各向异性磁电阻传感器的应用现状与发展前景 | 第14-15页 | ·本文的主要研究工作及进展 | 第15-17页 | 参考文献 | 第17-19页 | 第二章 磁电阻薄膜研究 | 第19-29页 | ·引言 | 第19页 | ·实验 | 第19-22页 | ·靶材的选择 | 第19-20页 | ·薄膜制备装置 | 第20-22页 | ·薄膜测试系统 | 第22页 | ·薄膜性能 | 第22-24页 | ·工艺因素影响 | 第24-26页 | ·溅射时基片温度对薄膜性能的影响 | 第24-25页 | ·溅射功率对薄膜性能的影响 | 第25-26页 | ·讨论 | 第26页 | ·本章小结 | 第26-28页 | 参考文献 | 第28-29页 | 第三章 各向异性磁电阻传感器的结构设计与优化 | 第29-40页 | ·引言 | 第29页 | ·磁电阻薄膜图形 | 第29-30页 | ·电极图形 | 第30-34页 | ·电流偏置 | 第30-32页 | ·电桥结构 | 第32页 | ·电极排列 | 第32-34页 | ·Barber的电极优化设计 | 第34-38页 | ·Barber电极原理 | 第34-35页 | ·有限元分析及优化设计 | 第35-38页 | ·本章小结 | 第38-39页 | 参考文献 | 第39-40页 | 第四章 磁电阻单元的制备 | 第40-46页 | ·引言 | 第40页 | ·磁电阻单元的工艺过程 | 第40-42页 | ·磁电阻单元制备的关键工艺 | 第42-44页 | ·磁电阻条腐蚀 | 第42页 | ·Barber电极图形光刻 | 第42-43页 | ·磁电阻单元的表面处理 | 第43-44页 | ·本章小结 | 第44-45页 | 参考文献 | 第45-46页 | 第五章 测试系统及传感器单元性能 | 第46-56页 | ·引言 | 第46页 | ·测试系统 | 第46-50页 | ·亥姆霍兹线圈 | 第47-48页 | ·压控电流源 | 第48-49页 | ·恒流源 | 第49页 | ·C8051F060目标板 | 第49-50页 | ·测试结果与讨论 | 第50-54页 | ·传感器单元输出曲线 | 第50-51页 | ·不同角度的 Barber电极对应的输出曲线 | 第51-53页 | ·桥臂电阻对输出曲线的影响 | 第53页 | ·测试过程中的易磁化轴跳变 | 第53-54页 | ·本章小结 | 第54-56页 | 第六章 总结 | 第56-58页 | ·论文总结 | 第56页 | ·展望 | 第56-58页 | 作者发表论文 | 第58-59页 | 致谢 | 第59页 |
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