微波ECR等离子体的磁电加热研究--硕士论文下载

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微波ECR等离子体的磁电加热研究

论文目录

摘要	第1-6页
Abstract	第6-9页
目录	第9-11页
第1章文献综述	第11-23页
·ECR 等离子体的原理及特点	第11页
·ECR 等离子体的应用	第11-14页
·薄膜的沉积和生长	第12-13页
·ECR 等离子体刻蚀	第13-14页
·微波 ECR 离子源	第14页
·等离子体的加热研究概况	第14-21页
·欧姆加热	第15-16页
·高速中性粒子束注入加热	第16-17页
·高频加热	第17-18页
·磁电加热	第18-21页
·本工作的主要意义和研究内容	第21-23页
第2章 ECR 等离子体源及诊断系统	第23-29页
·微波 ECR 等离子体源及加热系统	第23-25页
·电子参数诊断系统	第25-26页
·离子参数诊断系统	第26-28页
·本章小结	第28-29页
第3章磁电加热对微波 ECR 等离子体参数的影响	第29-36页
·引言	第29页
·磁电加热对离子参数的影响	第29-33页
·磁电加热对电子参数的影响	第33-35页
·本章小结	第35-36页
第4章影响离子磁电加热效果的因素	第36-54页
·引言	第36页
·磁场位形对离子磁电加热的影响	第36-37页
·磁场强度对离子磁电加热的影响	第37-38页
·气压对离子磁电加热的影响	第38-39页
·微波功率对离子磁电加热的影响	第39-41页
·电极环对离子磁电加热的影响	第41-47页
·电极环的大小对离子加热的影响	第41-43页
·电极环轴向位置对离子加热的影响	第43-46页
·双电极环对离子加热的影响	第46-47页
·电极圆筒对离子磁电加热的影响	第47-52页
·本章小结	第52-54页
第5章磁电加热在 ECR 等离子体刻蚀金刚石膜中的应用	第54-61页
·引言	第54页
·离子引出及输运研究	第54-56页
·磁电加热后刻蚀模型的建立	第56-58页
·磁电加热对刻蚀形貌的影响	第58-59页
·本章小结	第59-61页
第6章论文总结与展望	第61-64页
·论文总结	第61-63页
·展望	第63-64页
参考文献	第64-69页
攻读硕士期间已发表的论文	第69-70页
致谢	第70页

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