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基于线性霍尔传感器的平面三自由度微位移测量系统设计
 
     论文目录
 
摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第9-18页
    1.1 课题背景和研究意义第9-10页
    1.2 课题指标的确定第10页
    1.3 微位移测量技术发展现状第10-13页
    1.4 国内外平面三自由度微位移测量技术发展现状第13-16页
        1.4.1 应用于超精密微动台的测量方法第14-15页
        1.4.2 其他相关领域的测量方法第15-16页
    1.5 平面三自由度微位移测量方法的选取分析第16页
    1.6 本文主要研究内容第16-18页
第2章 基于线性霍尔传感器的测量原理第18-32页
    2.1 引言第18页
    2.2 霍尔效应基本原理第18-20页
    2.3 传感装置材料的选取分析第20-22页
        2.3.1 磁钢选型第20-21页
        2.3.2 线性霍尔传感器选型第21-22页
    2.4 传感方案设计及机械安装第22-31页
        2.4.1 国内外磁性驱动单元结构研究现状第22-25页
        2.4.2 磁性驱动单元结构确定第25-26页
        2.4.3 仿真验证第26-29页
        2.4.4 传感器安装第29-31页
    2.5 本章小结第31-32页
第3章 传感信号的几何建模与解耦第32-42页
    3.1 引言第32页
    3.2 理想传感模型分析第32-38页
        3.2.1 传感器偏转对测量的影响第32-34页
        3.2.2 传感器水平面三维解耦第34-38页
    3.3 传感模型修正第38-41页
    3.4 本章小结第41-42页
第4章 信号处理卡设计第42-53页
    4.1 引言第42页
    4.2 系统总体设计第42-43页
    4.3 数字信号处理电路设计第43-46页
        4.3.1 A/D 模块设计第43-44页
        4.3.2 FPGA 最小系统模块第44-45页
        4.3.3 RS485 串口模块第45-46页
    4.4 模拟信号调理电路设计第46-52页
        4.4.1 前置放大模块第46-48页
        4.4.2 低通滤波放大模块第48-50页
        4.4.3 信号转换模块第50-52页
    4.5 信号处理卡的安装第52页
    4.6 本章小结第52-53页
第5章 实验与分析第53-68页
    5.1 引言第53页
    5.2 实验方案总体设计第53-54页
        5.2.1 单路霍尔传感装置实验平台搭建第53页
        5.2.2 平面自由度综合实验平台搭建第53-54页
    5.3 单路霍尔传感装置实验第54-59页
        5.3.1 稳定性测试第54-55页
        5.3.2 传感器高度 h 的确定第55-57页
        5.3.3 理想区间范围测试第57页
        5.3.4 分辨力测试第57-58页
        5.3.5 线性度测试第58-59页
    5.4 磁感应强度分布测试及数学模型确定第59-64页
    5.5 平面三自由度综合实验第64-67页
        5.5.1 X,Y 微位移测试第65-67页
        5.5.2 Rz 微位移测试第67页
    5.6 本章小结第67-68页
结论第68-70页
参考文献第70-76页
致谢第76页

 
论文编号BS3742139,这篇论文共76
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