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当前位置:教育论文中心首页--硕士论文--多铁纳米MEMS传感器性能测试系统设计
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多铁纳米MEMS传感器性能测试系统设计
 
     论文目录
 
摘要第3-4页
ABSTRACT第4-5页
第一章 绪论第9-17页
    1.1 研究背景第9-12页
        1.1.1 多铁材料第9-10页
        1.1.2 多铁纳米MEMS传感器第10页
        1.1.3 微传感器测试技术第10-12页
    1.2 国内外研究现状及发展趋势第12-16页
        1.2.1 国内研究现状第12-14页
        1.2.2 国外研究现状第14-16页
    1.3 主要研究内容及课题意义第16-17页
第二章 多铁纳米MEMS传感器测试方案设计第17-27页
    2.1 多铁纳米MEMS器件特性第17-18页
        2.1.1 多铁MEMS器件的铁电特性和压电特性第17页
        2.1.2 多铁MEMS器件的磁电效应第17-18页
    2.2 多铁纳米MEMS传感器的原理及结构设计第18-24页
        2.2.1 结构参数选择与计算第19-21页
        2.2.2 弹性薄膜力学模型第21-23页
        2.2.3 多铁纳米MEMS传感器的封装第23-24页
    2.3 测试系统总体方案设计第24-26页
    2.4 本章小结第26-27页
第三章 传感器测试装置结构设计第27-38页
    3.1 测试装置机械结构设计第27-30页
    3.2 待测传感器安装与固定第30-31页
    3.3 加热装置设计第31-33页
        3.3.1 加热器件选择第31-32页
        3.3.2 加热装置安装第32-33页
    3.4 磁场的设置与安装第33-35页
        3.4.1 磁场生成装置设计第33-34页
        3.4.2 磁场强度计算第34-35页
    3.5 气压控制回路设计第35-37页
    3.6 本章小结第37-38页
第四章 控制系统软硬件设计第38-49页
    4.1 控制系统硬件部分设计第38-42页
        4.1.1 MCU及外围电路第39-40页
        4.1.2 信号放大电路第40页
        4.1.3 A/D转换电路第40-41页
        4.1.4 EEPROM第41-42页
        4.1.5 通信接口电路第42页
        4.1.6 低通滤波模块第42页
    4.2 控制系统软件设计第42-47页
        4.2.1 主控芯片程序设计第43-44页
        4.2.2 上位机显示界面程序设计第44-47页
    4.3 本章小结第47-49页
第五章 多铁纳米MEMS传感器的测试实验研究第49-62页
    5.1 测试平台的搭建第49-50页
    5.2 测试装置功能验证第50-55页
        5.2.1 标准薄膜压力传感器测试第50-51页
        5.2.2 标准薄膜压力传感器测试数据分析第51-55页
    5.3 多铁纳米MEMS压力传感器的测试第55-58页
    5.4 数据处理与分析第58-61页
        5.4.1 不同温度值下输出对比分析第58-60页
        5.4.2 不同磁场值下输出对比分析第60-61页
    5.5 本章小结第61-62页
结论和展望第62-64页
参考文献第64-67页
申请学位期间的研究成果及发表的学术论文第67-68页
致谢第68页

 
 
论文编号BS2820154,这篇论文共68
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