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当前位置:教育论文中心首页--硕士论文--一种基于乐甫波的血液粘度传感器设计优化与工艺研究
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一种基于乐甫波的血液粘度传感器设计优化与工艺研究
 
     论文目录
 
中文摘要第3-4页
英文摘要第4-5页
1 绪论第8-15页
    1.1 研究背景与意义第8-9页
    1.2 国内外研究现状第9-13页
    1.3 研究目的及主要内容第13-14页
    1.4 本章小结第14-15页
2 乐甫波传播特性研究第15-26页
    2.1 用于血液粘度检测的传感器选择第15-18页
    2.2 乐甫波的理论研究基础第18-21页
    2.3 乐甫波传播模式的研究第21-23页
    2.4 乐甫波传感器负载血液的研究第23-25页
    2.5 本章小结第25-26页
3 血液粘度传感器的设计与优化第26-32页
    3.1 乐甫波传感器的设计第26-29页
        3.1.1 乐甫波血液粘度传感器的结构设计第26-27页
        3.1.2 乐甫波血液粘度传感器的实验设计第27-29页
    3.2 乐甫波传感器IDT的设计与优化第29-31页
        3.2.1 IDT叉指形状的设计与分析第29-30页
        3.2.2 IDT叉指尺寸的设计与分析第30-31页
    3.3 乐甫波传感器薄膜材料的设计与分析第31页
    3.4 本章小结第31-32页
4 乐甫波血液粘度传感器的工艺制作第32-44页
    4.1 乐甫波传感器的工艺设计第32-36页
        4.1.1 乐甫波传感器的光刻技术第32-33页
        4.1.2 乐甫波传感器的沉积技术第33-34页
        4.1.3 乐甫波传感器加工工艺流程第34-36页
    4.2 乐甫波血液粘度传感器的版图设计第36-41页
        4.2.1 IDT剥离工艺的版图设计第36页
        4.2.2 SiO_2薄膜工艺的版图设计第36-37页
        4.2.3 乐甫波传感器的整体版图第37-41页
    4.3 乐甫波器件的工艺实现第41-43页
    4.4 本章小结第43-44页
5 乐甫波传感器检测血液粘度的测试与讨论第44-55页
    5.1 模拟血液配比与制作第44-45页
    5.2 模拟血液检测第45-46页
    5.3 结果与讨论第46-54页
    5.4 本章小结第54-55页
6 论文总结与工作展望第55-57页
    6.1 本文工作总结第55-56页
    6.2 论文创新点第56页
    6.3 后期工作与展望第56-57页
致谢第57-58页
参考文献第58-62页
附录第62页
    A.作者在攻读学位期间发表的文章目录第62页
    B.作者在攻读学位期间参加的科研项目第62页
    C.作者在攻读学位期间申请的专利目录第62页

 
 
论文编号BS4055004,这篇论文共62
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