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当前位置:教育论文中心首页--硕士论文--ZnMgO薄膜与ZnMgO/ZnO异质结的制备及其性能研究
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ZnMgO薄膜与ZnMgO/ZnO异质结的制备及其性能研究
 
     论文目录
 
摘要第1-6页
ABSTRACT第6-15页
第一章 绪论第15-28页
   ·ZnO的结构和性能第16-20页
     ·ZnO的基本性质第16页
     ·ZnO的晶体结构第16-18页
     ·ZnO的本征缺陷第18-19页
     ·ZnO的光谱与能级第19-20页
   ·MgO的结构和性质第20-21页
   ·ZnMgO三元合金薄膜第21-25页
     ·Zn_(1-x)Mg_xO薄膜的晶体结构第21-22页
     ·Zn_(1-x)Mg_xO单层薄膜的研究现状第22-24页
     ·ZnMgO/ZnO异质结第24-25页
   ·ZnO与ZnMgO薄膜的制备方法第25-27页
   ·课题研究内容及意义第27-28页
第二章 薄膜的制备与表征第28-35页
   ·薄膜的制备及磁控溅射原理第28-31页
     ·磁控溅射原理第28页
     ·实验设备主要技术参数第28-30页
     ·ZnO与ZnMgO薄膜的制备第30-31页
   ·薄膜的表征第31-35页
     ·结构表征第31页
     ·形貌分析第31-32页
     ·透射光谱第32-33页
     ·光致发光谱第33-35页
第三章 ZnO薄膜制备工艺的优化第35-48页
   ·溅射功率对ZnO薄膜性能的影响第35-38页
     ·溅射功率对ZnO薄膜结构的影响第35-37页
     ·溅射功率对ZnO薄膜光学性能的影响第37-38页
   ·氧氩比对ZnO薄膜性能的影响第38-41页
     ·氧氩比对ZnO薄膜结构的影响第38-40页
     ·氩氧比对ZnO薄膜光学性能的影响第40-41页
   ·工作气压对ZnO薄膜性能的影响第41-43页
     ·工作气压对ZnO薄膜结构的影响第41-42页
     ·工作气压对ZnO薄膜光学性能的影响第42-43页
   ·衬底温度对ZnO薄膜性能的影响第43-46页
     ·衬底温度对ZnO薄膜结构的影响第44-45页
     ·衬底温度对ZnO薄膜光学性能的影响第45-46页
   ·本章小结第46-48页
第四章 Zn_(1-x)Mg_xO薄膜的制备及其性能研究第48-72页
   ·Mg掺量对Zn_(1-x)Mg_xO薄膜性能的影响第48-54页
     ·结构与表面形貌表征第48-51页
     ·透射谱分析第51-53页
     ·光致发光谱第53-54页
   ·溅射功率对Zn_(1-x)Mg_xO薄膜性能的影响第54-58页
     ·结构与表面形貌表征第54-55页
     ·透射谱分析第55-57页
     ·光致发光谱第57-58页
   ·氧氩比对Zn_(1-x)Mg_xO薄膜性能的影响第58-60页
     ·结构表征第58页
     ·透射光谱第58-60页
     ·光致发光谱第60页
   ·工作气压对Zn_(1-x)Mg_xO薄膜性能的影响第60-64页
     ·结构表征第60-61页
     ·透射谱分析第61-63页
     ·光致发光谱第63-64页
   ·衬底温度对Zn_(1-x)Mg_xO薄膜性能的影响第64-68页
     ·结构与表面形貌表征第64-65页
     ·透射谱分析第65-66页
     ·光致发光谱第66-68页
   ·退火对Zn_(1-x)Mg_xO薄膜性能的影响第68-71页
   ·本章小结第71-72页
第五章 ZnMgO/ZnO异质结的制备与表征第72-76页
   ·ZnMgO/ZnO/ZnMgO双异质结的生长第72-74页
   ·ZnO缓冲层上生长的ZnMgO/ZnO/ZnMgO异质结构第74-75页
   ·本章小结第75-76页
第六章 结论第76-77页
参考文献第77-82页
致谢第82-83页
研究成果及发表的学术论文第83页
作者简介第83-84页
导师简介第84-85页
北京化工大学硕士研究生学位论文答辩委员会决议书第85-86页

 
 
论文编号BS521704,这篇论文共86
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