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大行程精密定位平台偏摆误差分析及补偿方法研究
 
     论文目录
 
中文摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第一章 绪论第10-24页
    1.1 课题背景及研究意义第10-11页
    1.2 国内外研究现状第11-20页
        1.2.1 大行程精密定位系统的研究现状第11-14页
        1.2.2 误差补偿技术的发展状况第14-17页
        1.2.3 误差检定方法的研究现状第17-18页
        1.2.4 微位移补偿机构的研究现状第18-20页
    1.3 定位平台性能综述第20-22页
    1.4 课题来源及主要研究内容第22-24页
第二章 偏摆误差分析及模型的建立第24-36页
    2.1 引言第24页
    2.2 定位平台的几何误差分析及建模第24-28页
        2.2.1 X 轴定位平台的几何误差分析第25-26页
        2.2.2 Y 轴定位平台的几何误差分析第26-27页
        2.2.3 定位平台的综合偏摆误差第27-28页
    2.3 偏摆振动模型的建立第28-32页
        2.3.1 X 轴运动平台偏摆振动分析第29-31页
        2.3.2 Y 轴运动平台偏摆振动分析第31-32页
        2.3.3 定位平台的综合偏摆振动第32页
    2.4 偏摆振动固有频率计算第32-34页
    2.5 偏摆振动运动幅值研究第34-35页
    2.6 本章小结第35-36页
第三章 偏摆误差检测方法研究第36-46页
    3.1 引言第36页
    3.2 电容传感器检测原理第36-39页
    3.3 平尺的设计及误差分析第39-41页
        3.3.1 平尺设计第39-40页
        3.3.2 平尺的误差分析第40-41页
    3.4 偏摆误差检测模型第41-44页
        3.4.1 X 轴偏摆误差检测模型第41-42页
        3.4.2 Y 轴偏摆误差检测模型第42-43页
        3.4.3 定位平台综合偏摆误差检测模型第43-44页
    3.5 误差补偿控制方法研究第44页
        3.5.1 误差补偿原理第44页
        3.5.2 误差补偿系统的切换阀值第44页
    3.6 本章小结第44-46页
第四章 偏摆误差微动补偿平台的研究第46-61页
    4.1 引言第46-47页
    4.2 微动误差补偿平台的设计第47-50页
    4.3 微动误差补偿系统数学模型的建立第50-52页
        4.3.1 压电陶瓷的建模第50-51页
        4.3.2 微动平台的建模第51-52页
    4.4 仿真分析第52-58页
        4.4.1 微动误差补偿平台的静态特性分析第52-55页
        4.4.2 微动误差补偿平台的动态特性分析第55-56页
        4.4.3 微动误差补偿平台的综合性能分析第56-58页
    4.5 压电陶瓷迟滞前馈控制算法研究第58-60页
    4.6 本章小结第60-61页
第五章 精密定位系统实验研究第61-71页
    5.1 引言第61页
    5.2 精密定位系统组成原理第61-63页
    5.3 补偿平台实验研究第63-66页
        5.3.1 位移分辨率及行程测试第63-64页
        5.3.2 位移耦合度第64-65页
        5.3.3 重复定位精度第65-66页
        5.3.4 响应特性第66页
    5.4 偏摆误差补偿实验研究第66-70页
        5.4.1 实验系统组成第66-67页
        5.4.2 偏摆误差微动补偿实验第67-70页
    5.5 本章小结第70-71页
第六章 总结与展望第71-73页
    6.1 总结第71-72页
    6.2 展望第72-73页
参考文献第73-78页
攻读硕士学位期间科研成果第78-79页
致谢第79-80页

 
 
论文编号BS3591240,这篇论文共80
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