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半绝缘InP的深能级缺陷、电学补偿及电学性质的研究
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半绝缘InP的深能级缺陷、电学补偿及电学性质的研究
论文目录
摘要
第1-3页
Abstract
第3-7页
前言
第7-8页
1 磷化铟(InP)材料简介
第8-15页
·磷化铟(InP)材料的基本物理性质及应用范围
第8-9页
·磷化铟(InP)体单晶材料生长概述
第9-12页
·半绝缘InP单晶材料制备方法
第12-14页
·本文研究内容简介
第14-15页
2 InP中的点缺陷及材料表征评价技术
第15-27页
·引言
第15页
·InP晶格中点缺陷的类型
第15-18页
·材料表征评价技术
第18-27页
·霍尔效应(HALL)测量电阻率和迁移率
第19-23页
·热激电流谱(TSC)测量深能级缺陷的原理
第23-27页
3 半绝缘InP中的缺陷及电学性质的研究
第27-35页
·引言
第27页
·实验
第27-28页
·实验结果及讨论
第28-34页
·结论
第34-35页
4 半绝缘InP的电学补偿分析
第35-43页
·引言
第35页
·电阻率和迁移率
第35-36页
·半绝缘InP的电学补偿分析
第36-38页
·实验过程
第38-39页
·实验结果及讨论
第39-42页
·结论
第42-43页
5 总结
第43-44页
参考文献
第44-50页
攻读硕士学位期间发表的论文
第50-51页
致谢
第51-52页
论文编号
BS1306891
,这篇论文共
52
页
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