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CVD金刚石涂层用于海洋密封材料的制备与应用
 
     论文目录
 
摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第一章 绪论第12-24页
    1.1 课题背景第12-13页
    1.2 金刚石材料的概述第13-14页
    1.3 金刚石材料的结构第14页
    1.4 金刚石的特殊性能第14-17页
    1.5 CVD金刚石膜生长机理第17-19页
    1.6 CVD金刚石膜的生长模式第19-20页
    1.7 金刚石薄膜的制备方法第20-22页
    1.8 本课题研究目的和意义第22-24页
第二章 实验装置及表征第24-36页
    2.1 直流辉光等离子体CVD装置第24-25页
    2.2 直流辉光放电等离子体的特性第25-28页
    2.3 放电电流与气压的关系第28页
    2.4 金刚石膜的表征第28-34页
        2.4.1 金刚石膜的拉曼光谱 (Raman Spectroscopy)第28-29页
        2.4.2 扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscopy,SEM)第29页
        2.4.3 透射电镜(Transmission Electron Microscope, TEM)第29-30页
        2.4.4 原子力显微镜和表面轮廓仪第30-31页
        2.4.5 微米划痕仪和摩擦磨损试验机第31-34页
    2.5 本章小结第34-36页
第三章 金刚石膜制备研究第36-50页
    3.1 预处理对金刚石膜表面形核的影响第36-39页
    3.2 甲烷流量对金刚石膜表面形貌的影响第39-41页
    3.3 沉积温度对金刚石膜形貌的影响第41-42页
    3.4 金刚石膜生长速率的影响因素第42-44页
        3.4.1 碳源浓度的影响第42-43页
        3.4.2 生长温度的影响第43-44页
    3.5 氩气掺杂的影响第44-47页
        3.5.1 氩气对等离子体的影响第44-45页
        3.5.2 氩气对金刚石膜生长的影响第45-47页
    3.6. 本章小结第47-50页
第四章 SiC密封材料表面涂层的制备第50-60页
    4.1 金刚石膜的表面形貌和结构第50-54页
    4.2 AFM测试金刚石膜表面形貌与粗糙度第54-56页
    4.3 纳米金刚石膜的透射电镜测试第56-58页
    4.4 本章小结第58-60页
第五章 金刚石膜涂层的性能测试第60-70页
    5.1 金刚石膜的摩擦学性能第61-64页
    5.2 金刚石膜涂层的结合力强度第64-66页
    5.3 金刚石膜涂层的静压密封测试第66-68页
    5.4 本章小结第68-70页
第六章 全文总结与展望第70-74页
    6.1 全文总结第70-71页
    6.2 展望第71-74页
参考文献第74-82页
攻读硕士期间已发表的论文第82-84页
致谢第84页

 
论文编号BS3287992,这篇论文共84
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