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LPCVD法制备TiO2纳米薄膜过程的能耗评估方法研究
 
     论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-9页
1 引言第9-18页
   ·课题研究的背景和意义第9-10页
   ·相关领域的研究现状和发展趋势第10-16页
     ·流体运动过程的研究现状第10-11页
     ·流体反应过程中热力学的研究现状第11-13页
     ·关于流体运动过程中能量平衡的研究现状第13-16页
   ·论文主要的内容及结构第16-18页
2 LPCVD法制备TiO_2纳米薄膜的基本理论第18-25页
   ·LPCVD法制备TiO_2纳米薄膜的装置及化学反应原理概述第18-21页
     ·LPCVD法制备TiO_2纳米薄膜的装置第18-19页
     ·制备过程的化学反应原理第19-21页
   ·TiO_2纳米薄膜制备过程中流体的相关理论第21-23页
     ·流体运输过程中的流体运动规律基础理论第21-22页
     ·流体运输过程中热力学相关理论第22-23页
   ·纳米薄膜的成膜过程第23页
   ·本章小结第23-25页
3 运载气体输运过程中的运动分析以及薄膜的沉积进度求解第25-37页
   ·运载气体的运动方程的建立与求解第25-30页
     ·运动方程的建立第25-27页
     ·运动方程的求解第27-30页
   ·薄膜的沉积进度求解第30-35页
     ·气体输运特性第30-32页
     ·前驱体浓度函数表达式的建立第32-33页
     ·前驱体浓度函数表达式的求解第33-35页
   ·薄膜沉积进度函数求解第35-36页
   ·本章小结第36-37页
4 LPCVD法制备纳米TiO_2薄膜的化学反应热力学模型与能耗评估第37-48页
   ·建立TiO_2纳米薄膜LPCVD制备过程的热力学模型第37-44页
     ·TiO_2薄膜制备中化学反应焓变模型的建立第37-40页
     ·TiO_2薄膜制备的化学反应熵变模型第40-43页
     ·TiO_2薄膜制备的化学反应有效能变模型第43页
     ·化学反应生成热量速率的计算第43-44页
   ·TiO_2薄膜制备过程中化学反应能量模型分析第44-46页
   ·本章小结第46-48页
5 基于能量平衡的能效分析第48-56页
   ·能量平衡方程第48-49页
   ·基于TiO_2纳米薄膜制备过程中能量平衡计算各部分能耗第49-54页
     ·未参与反应的前驱体所吸收的能量计算第50-52页
     ·前驱体反应所吸收的能量计算第52-53页
     ·第二温区释放在空气中的能量及尾气带走的能量计算第53-54页
   ·TiO_2纳米薄膜制备过程中能效分析第54-55页
   ·本章小结第55-56页
6 利用FLUENT软件模拟TiO_2纳米薄膜制备过程第56-64页
   ·FLUENT软件介绍第56页
   ·模拟过程与模拟结果第56-61页
     ·几何模型的建立第56-57页
     ·制备过程模拟第57-59页
     ·模拟结果第59-61页
   ·TiO_2薄膜制备过程中理论值的求解第61-63页
     ·TiO_2薄膜制备过程中热力学值求解第61-62页
     ·TiO_2薄膜制备过程中运动速率与沉积速率的求解第62-63页
   ·模拟结果与理论结果的对比及分析第63页
   ·本章小结第63-64页
结论第64-66页
参考文献第66-69页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第69-70页
致谢第70-71页

 
 
论文编号BS243,这篇论文共71
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