| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第14-33页 |
| 1.1 微机电系统 | 第14-15页 |
| 1.1.1 微机电系统概述 | 第14页 |
| 1.1.2 材料及应用瓶颈 | 第14-15页 |
| 1.2 有机薄膜材料的微摩擦学性能研究现状 | 第15-19页 |
| 1.2.1 LB润滑膜 | 第16-17页 |
| 1.2.2 自组装分子膜 | 第17-18页 |
| 1.2.3 有机镀膜技术 | 第18页 |
| 1.2.4 展望 | 第18-19页 |
| 1.3 疏水/超疏水表面研究现状 | 第19-29页 |
| 1.3.1 固体表面浸润性 | 第19-22页 |
| 1.3.2 疏水/超疏水理论 | 第22-25页 |
| 1.3.3 超疏水表面的制备方法 | 第25-28页 |
| 1.3.4 超疏水表面的应用 | 第28-29页 |
| 1.3.5 超疏水表面的展望 | 第29页 |
| 1.4 研究背景、内容、目的及意义 | 第29-32页 |
| 1.4.1 研究背景 | 第29-30页 |
| 1.4.2 研究目的及意义 | 第30-31页 |
| 1.4.3 研究内容 | 第31-32页 |
| 1.5 课题来源 | 第32-33页 |
| 第二章 实验材料、仪器及测试方法 | 第33-38页 |
| 2.1 实验材料 | 第33-34页 |
| 2.1.1 基体材料 | 第33页 |
| 2.1.2 实验试剂 | 第33-34页 |
| 2.2 实验仪器及测试方法 | 第34-38页 |
| 2.2.1 表面接触角及表面自由能 | 第34-35页 |
| 2.2.2 表面形貌观测 | 第35页 |
| 2.2.3 成分分析 | 第35页 |
| 2.2.4 薄膜膜厚 | 第35-36页 |
| 2.2.5 摩擦学性能 | 第36-37页 |
| 2.2.6 腐蚀性能 | 第37-38页 |
| 第三章 单晶Si表面Ni-P-ATP复合膜的制备及摩擦学性能研究 | 第38-58页 |
| 3.1 前言 | 第38页 |
| 3.2 实验部分 | 第38-41页 |
| 3.2.1 实验材料及前处理 | 第38-39页 |
| 3.2.2 化学镀镍法制备Ni-P涂层 | 第39-40页 |
| 3.2.3 Ni-P-ATP复合膜的制备 | 第40-41页 |
| 3.2.4 测试方法及条件 | 第41页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第41-57页 |
| 3.3.1 沉积时间对Ni-P薄膜性能的影响 | 第41-46页 |
| 3.3.2 Ni-P-ATP复合膜的制备与分析 | 第46-51页 |
| 3.3.3 Ni-P-ATP表面的纳米黏着性能 | 第51-53页 |
| 3.3.4 Ni-P-ATP表面的摩擦学性能 | 第53-57页 |
| 3.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 第四章 NdFe B永磁体表面ATP薄膜的制备及功能特性研究 | 第58-74页 |
| 4.1 前言 | 第58页 |
| 4.2 实验部分 | 第58-59页 |
| 4.2.1 实验材料及试剂 | 第58-59页 |
| 4.2.2 ATP薄膜的制备 | 第59页 |
| 4.2.3 ATP薄膜的表征方法 | 第59页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第59-72页 |
| 4.3.1 电化学反应过程 | 第59-62页 |
| 4.3.2 ATP薄膜表面形貌及浸润性 | 第62-64页 |
| 4.3.3 ATP薄膜成膜机理分析 | 第64-67页 |
| 4.3.4 ATP薄膜的耐腐蚀性能 | 第67-69页 |
| 4.3.5 ATP薄膜的摩擦学性能 | 第69-72页 |
| 4.4 本章小结 | 第72-74页 |
| 第五章 NdFe B永磁体表面TES-ATP有机纳米复合膜的制备及摩擦学性能研究 | 第74-90页 |
| 5.1 前言 | 第74-75页 |
| 5.2 实验部分 | 第75-77页 |
| 5.2.1 实验材料 | 第75页 |
| 5.2.2 TES自组装分子膜的制备 | 第75-76页 |
| 5.2.3 TES-ATP有机复合膜的制备 | 第76页 |
| 5.2.4 测试方法及手段 | 第76-77页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第77-88页 |
| 5.3.1 TES-ATP复合膜的电化学反应过程 | 第77页 |
| 5.3.2 TES-ATP有机复合膜的结构分析 | 第77-83页 |
| 5.3.3 TES-ATP有机复合膜的成膜机理 | 第83-84页 |
| 5.3.4 TES-ATP有机复合膜的膜厚及表面浸润性 | 第84-86页 |
| 5.3.5 薄膜的摩擦学性能 | 第86-88页 |
| 5.4 本章小结 | 第88-90页 |
| 第六章 Mg-Mn-Ce镁合金表面疏水性有机薄膜的制备及纳米摩擦学性能研究 | 第90-103页 |
| 6.1 前言 | 第90页 |
| 6.2 实验部分 | 第90-92页 |
| 6.2.1 实验材料及前处理 | 第90-91页 |
| 6.2.2 自组装分子膜技术制备OTS薄膜 | 第91页 |
| 6.2.3 有机镀膜法制备STN薄膜 | 第91页 |
| 6.2.4 测试方法及表征 | 第91-92页 |
| 6.3 结果与讨论 | 第92-102页 |
| 6.3.1 处理时间对STN薄膜与OTS薄膜浸润性的影响 | 第92-93页 |
| 6.3.2 STN薄膜与OTS薄膜的成膜机理 | 第93-97页 |
| 6.3.3 表面成分及形貌对浸润性的影响 | 第97-99页 |
| 6.3.4 OTS和STN薄膜的纳米黏着机制 | 第99-100页 |
| 6.3.5 OTS和STN薄膜的纳米摩擦行为 | 第100-102页 |
| 6.4 本章小结 | 第102-103页 |
| 第七章Mg-Mn-Ce镁合金表面一步法制备超疏水表面及耐腐蚀性能研究 | 第103-120页 |
| 7.1 前言 | 第103-104页 |
| 7.2 实验部分 | 第104-105页 |
| 7.2.1 实验材料及前处理 | 第104页 |
| 7.2.2 电沉积过程 | 第104页 |
| 7.2.3 测试方法 | 第104-105页 |
| 7.3 结果与讨论 | 第105-119页 |
| 7.3.1 沉积电压和时间对表面形貌及浸润性的影响 | 第105-108页 |
| 7.3.2 超疏水现象形成机制分析 | 第108-109页 |
| 7.3.3 超疏水表面成膜机理分析 | 第109-112页 |
| 7.3.4 超疏水表面稳定性及自清洁 | 第112-115页 |
| 7.3.5 超疏水表面的耐腐蚀行为 | 第115-119页 |
| 7.4 本章小结 | 第119-120页 |
| 结论 | 第120-124页 |
| 一、主要研究结论 | 第120-122页 |
| 二、创新点 | 第122页 |
| 三、后续工作的建议 | 第122-124页 |
| 参考文献 | 第124-140页 |
| 攻读博士学位期间取得的研究成果 | 第140-142页 |
| 致谢 | 第142-143页 |
| 附件 | 第143页 |
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