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当前位置:教育论文中心首页--硕士论文--基于DMD扫描光刻系统的光刻图形边缘平滑度优化研究
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基于DMD扫描光刻系统的光刻图形边缘平滑度优化研究
 
     论文目录
 
摘要第4-5页
ABSTRACT第5-6页
第一章 引言第9-18页
    1.1 研究背景第9-10页
    1.2 无掩膜光刻技术的发展与DMD无掩膜光刻技术的研究现状第10-16页
        1.2.1 无掩膜光刻技术的发展第10-15页
        1.2.2 DMD无掩膜光刻技术的研究现状第15-16页
    1.3 论文研究的主要工作第16-18页
        1.3.1 论文研究的意义及目的第16页
        1.3.2 论文研究的主要内容第16-18页
第二章 DMD扫描光刻系统第18-27页
    2.1 DMD扫描光刻系统整体构造第18-19页
    2.2 照明系统第19-20页
        2.2.1 激光器第19页
        2.2.2 光纤第19页
        2.2.3 匀光整形系统第19-20页
    2.3 反射镜第20-21页
    2.4 数字微反射镜器件DMD第21-23页
        2.4.1 DMD结构第21-22页
        2.4.2 DMD工作原理第22-23页
    2.5 投影成像系统第23-24页
    2.6 光刻操作过程第24-26页
    2.7 本章小结第26-27页
第三章 DMD扫描光刻图形边缘锯齿的优化第27-38页
    3.1 微反射镜投影光斑能量分析第28-30页
    3.2 刻线边缘锯齿成因第30-31页
    3.3 缩小刻线边缘锯齿的原理第31-38页
        3.3.1 微反射镜阵列成像线性错位表达式及其形式第31-32页
        3.3.2 曝光刻线仿真第32-38页
    3.4 本章小结第38页
第四章 平滑刻线的自由曲面光学透镜模型设计与优化第38-47页
    4.1 自由曲面光学透镜第38-39页
    4.2 自由曲面光学透镜模型设计与优化第39-44页
        4.2.1 自由曲面光学透镜模型设计第39-43页
        4.2.2 自由曲面光学透镜模型优化第43-44页
    4.3 曝光图形仿真第44-46页
    4.4 本章小结第46-47页
第五章 总结与展望第47-49页
    5.1 总结第47页
    5.2 创新点第47-48页
    5.3 展望第48-49页
参考文献第49-53页
致谢第53-54页
在学期间公开发表论文及著作情况第54页

 
 
论文编号BS4542193,这篇论文共54
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