|
|
|
半绝缘SiC单晶材料的电学参数测试研究 |
|
论文目录 |
|
摘要 | 第1-4页 | Abstract | 第4-7页 | 第一章 绪论 | 第7-11页 | ·研究背景及其发展过程 | 第7-9页 | ·研究背景 | 第7-8页 | ·发展进程 | 第8-9页 | ·国内外研究现状及应用前景 | 第9-10页 | ·论文结构 | 第10-11页 | 第二章 SiC 材料概述 | 第11-19页 | ·SiC 晶体结构 | 第11-12页 | ·SiC 材料性质 | 第12-15页 | ·SiC 的电学性质 | 第12-14页 | ·碳化硅材料的光学性质 | 第14-15页 | ·SiC 材料中的缺陷 | 第15-16页 | ·SiC 单晶中主要的缺陷及形成原因 | 第15-16页 | ·SiC 单晶的缺陷分析技术 | 第16页 | ·SiC 材料的应用 | 第16-19页 | 第三章 半绝缘碳化硅单晶材料的制备方法 | 第19-25页 | ·SiC 材料的单晶生长 | 第19-22页 | ·Acheson 法 | 第19-20页 | ·Lely 法 | 第20页 | ·籽晶升华法 | 第20-21页 | ·外延生长法 | 第21-22页 | ·半绝缘SiC 单晶材料的制备方法 | 第22-23页 | ·晶体生长中的主要缺陷 | 第23-25页 | ·微管道 | 第23-24页 | ·多晶形问题 | 第24-25页 | 第四章 半绝缘SiC 单晶电学特性的常规测试及分析 | 第25-41页 | ·半导体微区测试方法的研究 | 第25-31页 | ·无接触法 | 第26页 | ·接触测量法 | 第26-28页 | ·微区电阻测试结果的表示方法 | 第28-29页 | ·微区薄层电阻测量所用方法 | 第29-30页 | ·微区测试的新进展 | 第30-31页 | ·霍尔测试原理与方法 | 第31-33页 | ·测试电路 | 第31页 | ·测试原理 | 第31-33页 | ·霍尔效应原理 | 第32页 | ·载流子浓度 | 第32页 | ·电阻率和迁移率 | 第32-33页 | ·霍尔测试法 | 第33-36页 | ·实验材料及设备 | 第33-34页 | ·样品表面预处理 | 第34页 | ·欧姆接触制备工艺 | 第34-35页 | ·I-V 测试 | 第35-36页 | ·碳化硅单晶载流子浓度的研究 | 第36-38页 | ·碳化硅单晶电阻率的研究 | 第38-41页 | ·光照条件和电阻率的关系实验 | 第38-39页 | ·电阻率和温度的关系 | 第39-40页 | ·电阻率的不均匀性 | 第40-41页 | 第五章 非接触电阻率面分布(COREMA)测试研究 | 第41-65页 | ·COREMA 测试技术 | 第41-46页 | ·COREMA 的特点及主要用途 | 第41页 | ·COREMA 的测试结构 | 第41-42页 | ·COREMA 的用途及其原理 | 第42-46页 | ·电阻测量 | 第42-44页 | ·测迁移率 | 第44-45页 | ·测量fermi 能级 | 第45-46页 | ·COREMA 设备信息介绍 | 第46-48页 | ·COREMA - WT (Wafer Topography)(晶片照片) | 第46-47页 | ·COREMA-RM(Resistivity, Mobility)(电阻,迁移率) | 第47页 | ·COREMA-VT(Variable Temperature)(温度的变化) | 第47-48页 | ·无损测量半绝缘碳化硅电阻率分布形貌图研究 | 第48-53页 | ·晶体生长工艺 | 第48-49页 | ·碳化硅晶体的化学分析 | 第49-50页 | ·电阻率分布形貌图绘制及电阻率分布 | 第50-52页 | ·结果分析 | 第52-53页 | ·半绝缘砷化镓、碳化硅晶片电子迁移率的无接触测量 | 第53-58页 | ·引言 | 第53-54页 | ·实验步骤 | 第54-56页 | ·结果讨论及展望 | 第56-58页 | ·电阻率和温度的关系探讨 | 第58-65页 | 第六章 总结与展望 | 第65-67页 | 致谢 | 第67-68页 | 参考文献 | 第68-72页 | 研究成果 | 第72-73页 |
|
|
|
|
论文编号BS597843,这篇论文共73页 会员购买按0.35元/页下载,共需支付25.55元。 直接购买按0.5元/页下载,共需要支付36.5元 。 |
 |
 |
我还不是会员,注册会员!
会员下载更优惠!充值送钱! |
我只需要这篇,无需注册!
直接网上支付,方便快捷! |
|
|
|
版权申明:本目录由www.jylw.com网站制作,本站并未收录原文,如果您是作者,需要删除本篇论文目录请通过QQ或其它联系方式告知我们,我们承诺24小时内删除。 |
|
|