|
|
|
|
磁控溅射放电等离子体与非蒸发型吸气薄膜 |
| |
| 论文目录 |
| |
| 摘要 | 第4-6页 | | Abstract | 第6-8页 | | 首字母缩略词 | 第9-12页 | | 1 绪论：从等离子体到薄膜材料沉积 | 第12-43页 | | 1.1 物理溅射沉积 | 第13-19页 | | 1.1.1 薄膜生长的结构区域模型 | 第13-15页 | | 1.1.2 等离子体放电类型 | 第15-16页 | | 1.1.3 帕邢定律 | 第16-17页 | | 1.1.4 固体表面的离子轰击效应 | 第17-19页 | | 1.2 E × B放电等离子体动力学 | 第19-35页 | | 1.2.1 溅射放电装置 | 第19-27页 | | 1.2.2 电势峰 | 第27-28页 | | 1.2.3 等离子体局域化：电离辐 | 第28-31页 | | 1.2.4 电流陡增效应 | 第31-32页 | | 1.2.5 自溅射效应和气体析出效应 | 第32-35页 | | 1.3 吸气材料 | 第35-41页 | | 1.3.1 吸气材料的工作原理 | 第35-37页 | | 1.3.2 吸气材料的选择 | 第37-41页 | | 1.3.3 吸气材料的应用：粒子加速器 | 第41页 | | 1.4 本文研究目的 | 第41-43页 | | 2 磁控溅射等离子体动力学 | 第43-78页 | | 2.1 研究背景 | 第43-44页 | | 2.2 实验装置和实验方法 | 第44-52页 | | 2.2.1 放电系统 | 第45-46页 | | 2.2.2 帧成像 | 第46-47页 | | 2.2.3 条纹成像 | 第47-48页 | | 2.2.4 粒子质量能量分析 | 第48-51页 | | 2.2.5 悬浮电位探针 | 第51-52页 | | 2.3 结果与讨论 | 第52-76页 | | 2.3.1 高功率脉冲磁控溅射(高电流密度) | 第52-63页 | | 2.3.2 脉冲磁控溅射(中等电流密度) | 第63-69页 | | 2.3.3 直流和脉冲磁控溅射(低电流密度) | 第69-76页 | | 2.4 第二章总结 | 第76-78页 | | 3 在极细管状腔内沉积非蒸发吸气材料 | 第78-97页 | | 3.1 研究背景 | 第78-80页 | | 3.2 实验装置与实验方法 | 第80-85页 | | 3.2.1 沉积装置 | 第81-83页 | | 3.2.2 扫描电子显微镜 | 第83页 | | 3.2.3 能量色散X射线光谱仪 | 第83-84页 | | 3.2.4 卢瑟福背散射仪和粒子激发X射线荧光分析仪 | 第84-85页 | | 3.3 绞线阴极和合金阴极沉积的比较 | 第85-96页 | | 3.3.1 绞线阴极沉积的实验结果与讨论 | 第86-90页 | | 3.3.2 合金线阴极沉积的实验结果与讨论 | 第90-93页 | | 3.3.3 卢瑟福背散射分析的准确性讨论 | 第93-96页 | | 3.4 第三章总结 | 第96-97页 | | 4 全文总结与展望 | 第97-102页 | | 4.1 全文总结 | 第97-100页 | | 4.2 研究亮点 | 第100页 | | 4.3 研究展望 | 第100-102页 | | 致谢 | 第102-104页 | | 附件 | 第104-105页 | | 参考文献 | 第105-112页 | | 附录1 攻读博士学位期间发表论文、参会和获奖情况 | 第112-113页 |
|
|
|
|
论文编号BS2523944，这篇论文共113页
会员购买按0.35元/页下载，共需支付39.55元。 直接购买按0.5元/页下载，共需要支付56.5元 。 |
 |
 |
我还不是会员，注册会员！
会员下载更优惠!充值送钱！ |
我只需要这篇，无需注册！
直接网上支付，方便快捷！ |
|
|
|
版权申明：本目录由www.jylw.com网站制作，本站并未收录原文，如果您是作者，需要删除本篇论文目录请通过QQ或其它联系方式告知我们，我们承诺24小时内删除。 |
|
|
广告服务