| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 超声加工技术概述 | 第9-11页 |
| 1.2 超声压电振子的研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 超声压电振子振动模式的研究进展 | 第11-13页 |
| 1.2.2 耦合振动特性的理论研究 | 第13-14页 |
| 1.3 超声振动辅助化学机械抛光研究现状 | 第14-18页 |
| 1.3.1 超声振动辅助化学机械抛光技术 | 第14-17页 |
| 1.3.2 抛光液流动性的研究方法 | 第17-18页 |
| 1.4 课题的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 2 超声辅助抛光方法及实验分析 | 第20-28页 |
| 2.1 超声辅助抛光方法 | 第20-21页 |
| 2.2 超声抛光振子及其抛光系统 | 第21-25页 |
| 2.2.1 超声抛光振子 | 第21-22页 |
| 2.2.2 超声辅助化学机械抛光系统 | 第22-25页 |
| 2.3 硅片抛光实验与结果分析 | 第25-27页 |
| 2.3.1 抛光实验参数 | 第25页 |
| 2.3.2 实验结果分析 | 第25-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 3 超声抛光振子振动模式的理论分析与实验研究 | 第28-41页 |
| 3.1 压电方程 | 第28-30页 |
| 3.2 薄圆片形超声抛光振子振动模式的理论分析 | 第30-35页 |
| 3.2.1 柱坐标系中的基本方程 | 第30-31页 |
| 3.2.2 薄圆片压电振动理论的基本假设 | 第31-32页 |
| 3.2.3 超声抛光振子的振动解 | 第32-35页 |
| 3.3 超声抛光振子振动解的数值计算 | 第35-37页 |
| 3.4 薄圆片形超声抛光振子振动模式的实验研究 | 第37-40页 |
| 3.4.1 扫描式激光测振原理 | 第37-38页 |
| 3.4.2 超声抛光振子测振实验与结果分析 | 第38-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 4 超声抛光振子的振动传播特性研究 | 第41-51页 |
| 4.1 局部电极对超声抛光振子振动径向传播的影响 | 第41-46页 |
| 4.1.1 局部电极的能陷现象 | 第41-42页 |
| 4.1.2 超声抛光振子不同局部电极尺寸下的振幅测试 | 第42-46页 |
| 4.2 超声振动在圆柱形抛光头中轴向传播分析 | 第46-49页 |
| 4.2.1 抛光头中超声振动轴向传播过程的理论分析 | 第46-48页 |
| 4.2.2 抛光头工作表面振幅的数值计算 | 第48-49页 |
| 4.3 超声振动传播至抛光头工作表面的测振实验 | 第49-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 5 超声抛光振子对抛光液驱动过程的研究 | 第51-61页 |
| 5.1 超声振动作用下抛光液扩散实验 | 第51-57页 |
| 5.1.1 抛光液扩散实验系统 | 第51-53页 |
| 5.1.2 不同微孔结构的抛光垫下的抛光液扩散实验 | 第53-56页 |
| 5.1.3 超声抛光振子激励电压对抛光液扩散效果的影响 | 第56-57页 |
| 5.2 超声振动对抛光液的驱动过程分析 | 第57-60页 |
| 5.2.1 超声振动轴向传播至抛光区域的理论推导与数值计算 | 第57-59页 |
| 5.2.2 振动作用下抛光垫的微孔对抛光液流动的影响 | 第59-60页 |
| 5.3 本章小结 | 第60-61页 |
| 6 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 攻读硕士期间参加科研及发表学术论文情况 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
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