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电容式MEMS加速度计接口电路芯片研究与设计 |
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| 论文目录 |
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| 摘要 | 第5-6页 | | ABSTRACT | 第6-7页 | | 符号对照表 | 第11-12页 | | 缩略语对照表 | 第12-15页 | | 第一章 绪论 | 第15-21页 | | 1.1 微加速度计研究背景及意义 | 第15-16页 | | 1.2 微加速度计发展现状 | 第16-17页 | | 1.3 微加速度计发展趋势 | 第17-18页 | | 1.4 论文主要内容和章节安排 | 第18-21页 | | 第二章 电容式MEMS加速度计工作原理分析 | 第21-35页 | | 2.1 机械电容结构及检测原理 | 第21-24页 | | 2.2 电荷电压转换器 | 第24-26页 | | 2.3 Sigma Delta调制器原理 | 第26-33页 | | 2.3.1 过采样及量化噪声分析 | 第26-29页 | | 2.3.2 噪声整形技术 | 第29-32页 | | 2.3.3 Sigma Delta调制结构 | 第32-33页 | | 2.4 本章小结 | 第33-35页 | | 第三章 XDAS957系统级研究及噪声分析 | 第35-43页 | | 3.1 XDAS957系统级设计 | 第35-36页 | | 3.1.1 芯片主要特性 | 第35页 | | 3.1.2 芯片引脚功能介绍 | 第35-36页 | | 3.2 XDAS957架构设计 | 第36-38页 | | 3.2.1 芯片系统框图及功能介绍 | 第36-38页 | | 3.2.2 芯片电气特性要求 | 第38页 | | 3.3 系统噪声分析 | 第38-42页 | | 3.3.1 机械噪声 | 第39页 | | 3.3.2 电路噪声 | 第39-42页 | | 3.4 本章小结 | 第42-43页 | | 第四章 XDAS957子模块电路设计及仿真 | 第43-71页 | | 4.1 基于Verilog-A的压控电容模型 | 第43-44页 | | 4.2 带隙基准电路设计及仿真 | 第44-53页 | | 4.2.1 基准电流源电路设计计仿真 | 第44-49页 | | 4.2.2 基准电压源电路设计及仿真 | 第49-53页 | | 4.3 参考电压缓冲器电路设计及仿真 | 第53-54页 | | 4.4 非交叠时钟电路设计及仿真 | 第54-56页 | | 4.5 电荷电压转换器电路设计及仿真 | 第56-65页 | | 4.6 Sigma Delta调制器电路设计及仿真 | 第65-69页 | | 4.7 本章小结 | 第69-71页 | | 第五章 芯片的整体仿真及版图设计 | 第71-85页 | | 5.1 芯片的整仿验证 | 第71-78页 | | 5.2 版图设计注意事项 | 第78-83页 | | 5.2.1 器件版图匹配性设计 | 第79-81页 | | 5.2.2 寄生效应抑制设计 | 第81-83页 | | 5.3 芯片的版图布局 | 第83-84页 | | 5.4 本章小结 | 第84-85页 | | 第六章 总结与展望 | 第85-87页 | | 参考文献 | 第87-91页 | | 致谢 | 第91-93页 | | 作者简介 | 第93-95页 |
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论文编号BS4013746，这篇论文共95页
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