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面向灵巧蒙皮的微型剪应力传感器设计与仿真 |
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| 论文目录 |
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| 第一章 绪论 | 第1-17页 | | ·微型机电系统与灵巧蒙皮 | 第7-10页 | | ·灵巧蒙皮用微型剪应力传感器特征 | 第10-14页 | | ·微型剪应力传感器研究现状 | 第14-15页 | | ·论文的研究内容和意义 | 第15-17页 | | 第二章 微型剪应力传感器 | 第17-26页 | | ·光反射微型剪应力传感器 | 第17-19页 | | ·光散射微型剪应力传感器 | 第19-21页 | | ·梳齿电容式微型剪应力传感器 | 第21-22页 | | ·热敏式微型剪应力传感器 | 第22-24页 | | ·本章小结 | 第24-26页 | | 第三章 梳齿电容式微型剪应力传感器结构和工艺设计 | 第26-37页 | | ·梳齿电容式微型剪应力传感器工作原理 | 第26-30页 | | ·边界层分离 | 第26-28页 | | ·梳齿电容式微型剪应力传感器测量原理 | 第28-30页 | | ·梳齿电容式微型剪应力传感器结构设计 | 第30-34页 | | ·薄膜材料的特性 | 第30-31页 | | ·工艺尺寸和加工误差 | 第31-32页 | | ·梳齿电容式微型剪应力传感器结构 | 第32-33页 | | ·梳齿电容式微型剪应力传感器结构参数 | 第33-34页 | | ·梳齿电容式微型剪应力传感器工艺设计 | 第34-36页 | | ·本章小结 | 第36-37页 | | 第四章 热敏式微型剪应力传感器工艺和结构设计 | 第37-50页 | | ·热敏式微型剪应力传感器工作原理 | 第37-42页 | | ·热边界层理论和发展 | 第37-39页 | | ·热敏式微型剪应力传感器测量原理 | 第39-42页 | | ·热敏式微型剪应力传感器结构设计 | 第42-44页 | | ·热敏式微型剪应力传感器工艺设计 | 第44-46页 | | ·热敏式微型剪应力传感器阵列 | 第46-49页 | | ·本章小结 | 第49-50页 | | 第五章 微型剪应力传感器行为仿真 | 第50-60页 | | ·梳齿电容式微型剪应力传感器结构仿真 | 第50-56页 | | ·模型的建立 | 第50-51页 | | ·前置处理 | 第51-52页 | | ·仿真结果 | 第52-54页 | | ·结果验证 | 第54-56页 | | ·热敏式微型剪应力传感器结构传热分析 | 第56-59页 | | ·模型的建立 | 第56-57页 | | ·前置处理 | 第57-58页 | | ·仿真结果 | 第58-59页 | | ·本章小结 | 第59-60页 | | 总结与展望 | 第60-62页 | | 总结 | 第60-61页 | | 展望 | 第61-62页 | | 参考文献 | 第62-66页 | | 致谢 | 第66-67页 |
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论文编号BS958247，这篇论文共67页
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