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集成电路测试系统微小微电子参量校准技术研究 |
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| 论文目录 |
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| 摘要 | 第1-6页 | | ABSTRACT | 第6-7页 | | 目次 | 第7-9页 | | 图表目录 | 第9-11页 | | 第一章 概述 | 第11-20页 | | 1 研究背景 | 第11-12页 | | 2 国内外现状 | 第12-17页 | | 3 研究意义 | 第17-18页 | | ·实现集成电路测试系统微电子参量的溯源 | 第17-18页 | | ·保障国防军工武器装备的质量 | 第18页 | | 4 主要研究内容 | 第18-19页 | | ·集成电路测试系统微小参量特性分析 | 第18页 | | ·研制集成电路测试系统微小微电子参量校准装置 | 第18页 | | ·开发集成电路测试系统校准装置校准软件 | 第18-19页 | | ·研究集成电路测试系统校准装置量值传递技术 | 第19页 | | 5 论文结构 | 第19-20页 | | 第二章 原理及方法 | 第20-35页 | | 1 信号调理 | 第20-21页 | | 2 绝缘电阻 | 第21-24页 | | 3 数字信号处理 | 第24-33页 | | ·聚类分析 | 第24-25页 | | ·数字滤波 | 第25-31页 | | ·数字拟合 | 第31-33页 | | 4 校准 | 第33-34页 | | 5 小结 | 第34-35页 | | 第三章 校准装置硬件设计 | 第35-49页 | | 1 装置系统结构 | 第35-36页 | | 2 信号调制与放大 | 第36-38页 | | 3 偏置补偿和调零 | 第38页 | | 4 自动增益及控制 | 第38-41页 | | 5 滤波器设计 | 第41-42页 | | 6 模数转换及控制 | 第42-43页 | | 7 数据处理 | 第43-44页 | | 8 通信和控制接口 | 第44-45页 | | 9 装置实现与误差分析 | 第45-47页 | | ·测量设备内阻的影响 | 第45页 | | ·等效电容对输出噪声的影响 | 第45页 | | ·压电效应和摩擦电效应 | 第45-46页 | | ·电化学效应 | 第46页 | | ·表面泄漏电流 | 第46-47页 | | ·线缆屏蔽及归环 | 第47页 | | 10 小结 | 第47-49页 | | 第四章 校准装置软件设计 | 第49-63页 | | 1 装置软件总体结构 | 第49页 | | 2 模块驱动及控制 | 第49-55页 | | ·自动增益驱动 | 第49-50页 | | ·ADC 驱动 | 第50-53页 | | ·USB 驱动 | 第53-55页 | | 3 校准流程控制 | 第55-59页 | | ·电压测量 | 第55页 | | ·电流测量 | 第55-56页 | | ·电压校准 | 第56-57页 | | ·电流校准 | 第57-58页 | | ·上位机显示和控制 | 第58-59页 | | 4 数字信号处理 | 第59-61页 | | 5 小结 | 第61-63页 | | 第五章 测量结果及不确定度分析 | 第63-65页 | | 第六章 结论及展望 | 第65-67页 | | 参考文献 | 第67-70页 | | 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第70-71页 | | 致谢 | 第71-72页 | | 详细摘要 | 第72-75页 |
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论文编号BS1699549，这篇论文共75页
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