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MEMS加速度计开环检测电路的设计 |
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| 论文目录 |
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| 摘要 | 第4-5页 | | Abstract | 第5页 | | 第1章 绪论 | 第9-14页 | | 1.1 引言 | 第9页 | | 1.2 MEMS加速度计的国内外研究现状 | 第9-12页 | | 1.2.1 国外研究现状 | 第9-12页 | | 1.2.2 国内研究现状 | 第12页 | | 1.3 研究目的及意义 | 第12页 | | 1.4 研究内容 | 第12-14页 | | 第2章 电容式加速度计工作原理 | 第14-18页 | | 2.1 引言 | 第14页 | | 2.2 电容式加速度计工作原理 | 第14-17页 | | 2.2.1 机械结构工作原理 | 第14-15页 | | 2.2.2 加速度信号检测原理 | 第15-17页 | | 2.3 开环系统检测原理 | 第17页 | | 2.4 本章小结 | 第17-18页 | | 第3章 开环系统设计及SIMULINK模型验证 | 第18-36页 | | 3.1 引言 | 第18页 | | 3.2 开环系统架构设计 | 第18-19页 | | 3.3 差动电容检测方式分析比较 | 第19-21页 | | 3.3.1 开关电容型 | 第19-20页 | | 3.3.2 调制解调型 | 第20-21页 | | 3.4 调制方式的研究 | 第21-25页 | | 3.4.1 振幅调制 | 第21-24页 | | 3.4.2 频率调制 | 第24页 | | 3.4.3 相角调制 | 第24-25页 | | 3.5 解调方式的研究 | 第25-31页 | | 3.5.1 包络检波 | 第25-26页 | | 3.5.2 相敏解调 | 第26-29页 | | 3.5.3 采样保持解调 | 第29-31页 | | 3.6 调制波形的研究 | 第31-32页 | | 3.7 系统线性模型建立及仿真验证 | 第32-35页 | | 3.7.1 机械结构的数学模型 | 第32-34页 | | 3.7.2 开环系统的SIMULINK模型 | 第34-35页 | | 3.8 本章小结 | 第35-36页 | | 第4章 开环检测系统电学模型 | 第36-58页 | | 4.1 引言 | 第36页 | | 4.2 Verilog A的简单介绍 | 第36页 | | 4.3 电容式MEMS加速度计电学模型的建立 | 第36-44页 | | 4.3.1 机械结构电学模型 | 第36-40页 | | 4.3.2 差动压控电容模型 | 第40-43页 | | 4.3.3 整体MEMS电学模型 | 第43-44页 | | 4.4 调制解调型检测电路结构的研究 | 第44-48页 | | 4.5 前置buffer的模型及指标 | 第48-49页 | | 4.6 采样保持解调时序与载波时序 | 第49-50页 | | 4.7 仪表放大器的电学模型 | 第50-51页 | | 4.8 开关电容滤波器的电学模型 | 第51-56页 | | 4.8.1 滤波器的近似函数 | 第51页 | | 4.8.2 有源2阶低通滤波器 | 第51-54页 | | 4.8.3 开关电容等效电阻 | 第54-55页 | | 4.8.4 2 阶开关电容滤波器电路 | 第55-56页 | | 4.9 开环系统的电学模型及仿真验证 | 第56-57页 | | 4.10 本章小节 | 第57-58页 | | 第5章 电路设计 | 第58-75页 | | 5.1 引言 | 第58页 | | 5.2 前置buffer电路设计 | 第58-63页 | | 5.3 采样保持解调时钟与载波控制时钟产生电路 | 第63-67页 | | 5.4 开关电容低通滤波器 | 第67-72页 | | 5.4.1 开关的实现 | 第67-68页 | | 5.4.2 两相非交叠时钟电路的理论分析 | 第68-71页 | | 5.4.3 开关电容低通滤波器电路 | 第71-72页 | | 5.5 开环检测系统电路结构 | 第72-74页 | | 5.6 本章小结 | 第74-75页 | | 第6章 总结与展望 | 第75-76页 | | 6.1 总结 | 第75页 | | 6.2 展望 | 第75-76页 | | 参考文献 | 第76-79页 | | 致谢 | 第79-80页 | | 附录A 理想电学模块的Verilog A代码 | 第80-83页 | | 个人简历 | 第83-84页 | | 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第84页 |
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论文编号BS3082405，这篇论文共84页
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