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当前位置:教育论文中心首页--硕士论文--基于MEMS技术的差分电容式加速度微传感器的研究和设计
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基于MEMS技术的差分电容式加速度微传感器的研究和设计
 
     论文目录
 
摘要第1-6页
ABSTRACT第6-9页
第一章 引言第9-15页
   ·微电子机械系统概况及特点第9-11页
   ·MEMS 常用材料及其器件的应用领域第11-12页
   ·MEMS 与传感器技术的结合第12-13页
   ·本文的工作意义和主要内容第13-15页
第二章 微机械加工技术概述第15-34页
   ·图形制作技术第15-17页
     ·掩膜制作第15-16页
     ·涂胶及前烘第16页
     ·曝光和曝光后处理第16-17页
     ·显影第17页
     ·显影后处理第17页
   ·硅片氧化第17-18页
   ·薄膜淀积第18-19页
     ·物理气相淀积第18页
     ·化学气相淀积第18-19页
   ·体微机械加工技术第19-27页
     ·各向同性腐蚀第20-21页
     ·硅的各向同性自停止腐蚀第21页
     ·各向异性腐蚀第21-24页
     ·硅的各向异性自停止腐蚀第24-26页
     ·采用KOH 腐蚀液削角的补偿第26-27页
     ·干法刻蚀第27页
   ·表面微机械加工技术第27-30页
     ·表面微机械加工使用的材料第28-29页
     ·表面微机械加工的特点第29-30页
   ·键合技术第30-32页
     ·低温直接键合法第30页
     ·二步直接键合法第30页
     ·阳极键合法第30-31页
     ·硅/硅基片直接键合第31-32页
   ·LIGA 技术与准LIGA 技术工艺第32-34页
     ·LIGA 技术第32-33页
     ·准LIGA 技术第33-34页
第三章 差分电容式微加速度传感器的结构及工作原理第34-45页
   ·几种典型微加速度传感器的工作原理及特点第34-40页
     ·硅微压阻式加速度传感器第34-36页
     ·硅微电容式加速度传感器第36-37页
     ·硅微压电加速度传感器第37-38页
     ·隧道电流型加速度传感器第38-40页
   ·微电容式加速度传感器工作原理及特点第40-43页
     ·电容式传感器的原理及应用第40-41页
     ·改变极板间距离的电容传感器第41-43页
   ·差分电容式微加速度传感器的结构及工作原理第43-45页
第四章 差分电容式加速度微传感器的理论分析与计算第45-66页
   ·有限元法的发展和ANSYS 软件第45-48页
   ·有限元分析的基础理论第48-53页
     ·结构静力学分析有限元理论基础第48-49页
     ·结构动力学分析有限元理论基础第49-53页
   ·微电容式加速度传感器的有限元建模与分析第53-66页
     ·静力学分析第54-56页
     ·静力学计算结果的回归分析第56-61页
     ·模态分析第61-62页
     ·模态计算结果的分析第62-64页
     ·谐响应分析第64-66页
第五章 差分电容式微加速度传感器掩膜设计及工艺流程第66-72页
   ·掩膜设计第66-68页
     ·掩膜尺寸设计第66-68页
   ·工艺流程第68-72页
第六章 总结与展望第72-73页
致谢第73-74页
参考文献第74-78页
研究成果第78页

 
 
论文编号BS1177606,这篇论文共78
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