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射频等离子体中尘埃空洞演化研究
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射频等离子体中尘埃空洞演化研究
论文目录
摘要
第1-5页
Abstract
第5-9页
引言
第9-10页
1 绪论
第10-23页
·等离子体概述
第10-11页
·等离子体的分类
第11-12页
·尘埃等离子体
第12-21页
·尘埃等离子体性质
第15-16页
·尘埃云斑图
第16-17页
·尘埃等离子体相关研究手段
第17-19页
·尘埃颗粒对工业加工的影响
第19-21页
·本文的主要研究内容
第21-23页
2 实验装置和方法
第23-28页
·实验仪器
第23-25页
·实验方法
第25-28页
·产生尘埃颗粒
第25-26页
·设计实验调节参数
第26-28页
3 实验现象与讨论
第28-45页
·尘埃云及尘埃空洞的形态变化
第28-34页
·尘埃云体积的实验研究
第29-31页
·尘埃云及空洞的直径变化
第31-32页
·尘埃空洞的深度变化
第32-34页
·尘埃空洞震荡研究
第34-39页
·尘埃空洞随时间的变化规律
第34-37页
·尘埃空洞震荡周期随功率变化
第37-39页
·尘埃颗粒运动轨迹
第39-42页
·实验讨论及推断
第42-45页
·尘埃空洞演化原因
第42-44页
·尘埃空洞演化随功率与时间的讨论
第44-45页
4 实验总结与展望
第45-46页
结论
第46-47页
参考文献
第47-50页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
第50-51页
致谢
第51-52页
论文编号
BS1906456
,这篇论文共
52
页
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