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氦质谱检漏仪的研制 |
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论文目录 |
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摘要 | 第1-5页 | ABSTRACT | 第5-9页 | 第一章 绪论 | 第9-14页 | ·检漏技术的发展及现状 | 第9-12页 | ·一些与课题相关的基本定义 | 第9-10页 | ·检漏技术发展及现状 | 第10-12页 | ·氦质谱检漏仪的发展及研究现状 | 第12-13页 | ·本论文的主要研究内容 | 第13-14页 | 第二章 氦质谱检漏仪系统总体方案设计 | 第14-24页 | ·氦质谱检漏原理与技术介绍 | 第14-16页 | ·氦质谱检漏仪的基本原理 | 第14-15页 | ·氦质谱检漏仪的检漏方式 | 第15-16页 | ·氦质谱检漏仪性能试验方法 | 第16页 | ·氦质谱检漏仪系统总体方案设计 | 第16-23页 | ·系统设计需求 | 第16-18页 | ·电子模件总体方案设计 | 第18-19页 | ·质谱模件各组成部件 | 第19-21页 | ·控制系统各组成单元 | 第21-23页 | ·本章小结 | 第23-24页 | 第三章 控制系统的硬件电路设计 | 第24-35页 | ·硬件电路总体结构设计 | 第24-25页 | ·CPU控制电路板的设计 | 第25-31页 | ·二次数据处理电路 | 第26-27页 | ·A/D电路 | 第27-28页 | ·D/A电路 | 第28-29页 | ·单片机及外围电路 | 第29-31页 | ·I/O电路板的设计 | 第31-34页 | ·数字输入电路 | 第32-33页 | ·数字输出电路 | 第33-34页 | ·转换底板及显示单元 | 第34页 | ·本章小结 | 第34-35页 | 第四章 系统软件的设计 | 第35-47页 | ·系统控制主程序流程图 | 第35-36页 | ·启动程序模块设计 | 第36-37页 | ·自动校准程序的实现 | 第37-39页 | ·检测算法的实现 | 第39-43页 | ·零点漂移的克服算法 | 第39页 | ·数字滤波算法 | 第39-40页 | ·温度补偿的实现 | 第40页 | ·检测漏率值计算 | 第40-43页 | ·通讯模块的实现 | 第43-46页 | ·分子泵、真空计通讯的实现 | 第43-45页 | ·触摸屏通讯的实现 | 第45-46页 | ·CRC校验原理 | 第46页 | ·本章小结 | 第46-47页 | 第五章 调试与试验 | 第47-53页 | ·单元电路调试 | 第47-48页 | ·系统功能测试 | 第48-51页 | ·启动程序及模式切换功能试验 | 第48-49页 | ·自动校准程序试验 | 第49-50页 | ·漏率检测试验 | 第50-51页 | ·测量范围试验 | 第51页 | ·本章总结 | 第51-53页 | 第六章 结论和展望 | 第53-55页 | 致谢 | 第55-57页 | 主要参考文献 | 第57-58页 |
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