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当前位置:教育论文中心首页--博士论文--DMD投影光刻系统的开发设计及其在光刻、液晶光控取向方面的应用
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DMD投影光刻系统的开发设计及其在光刻、液晶光控取向方面的应用
 
     论文目录
 
摘要第1-8页
ABSTRACT第8-10页
第一章 绪论第10-30页
   ·传统光刻技术第10-11页
   ·无掩模光刻系统第11-16页
     ·Ikuta小组第12-13页
     ·Bertsch小组第13-14页
     ·张翔小组第14页
     ·Choi小组第14-15页
     ·Maruo小组第15-16页
   ·液晶光取向技术第16-22页
     ·光取向发展简介第16页
     ·光取向机制第16-19页
     ·液晶光控选区取向技术的进展第19-22页
   ·本文研究目的第22-23页
 参考文献第23-30页
第二章 光学设计与投影镜头的设计第30-59页
   ·简单光学像差理论第30-37页
     ·像差第30-35页
     ·衍射第35-37页
   ·利用ZEMAX优化设计光学系统第37-46页
     ·BOSA简介与像差分析第37-41页
     ·ZEMAX模拟与分析第41-46页
   ·投影微刻镜头的设计第46-57页
     ·前组镜头设计第47-51页
     ·后组镜头设计第51-57页
     ·公差分析第57页
 参考文献第57-59页
第三章 DMD投影光刻系统的搭建与初步实验第59-73页
   ·基于DMD的投影光刻系统第59-65页
     ·光源第59-60页
     ·光束整形与传递第60-61页
     ·图形产生第61-63页
     ·图形缩微第63-64页
     ·CCD调焦第64-65页
   ·系统的装调与测试第65-72页
     ·系统的装配与调校第65-69页
     ·光刻实验第69-72页
 参考文献第72-73页
第四章 聚合物液晶光栅和液晶的光控取向技术第73-94页
   ·Talbot效应制备聚合物液晶光栅第73-80页
     ·Talbot现象和分数效应第73-76页
     ·Talbot光刻法制作聚合物分散液晶光栅第76-80页
   ·DMD光刻系统制备液晶取向结构第80-91页
     ·实验过程第80-82页
     ·实验结果与讨论第82-91页
       ·任意选区的液晶取向第82-84页
       ·周期液晶相位光栅第84-86页
       ·准周期液晶结构第86-89页
       ·不同扭转角度的TN取向区域第89-91页
 参考文献第91-94页
第五章 总结第94-97页
 参考文献第95-97页
附录第97-100页
攻读博士学位期间已发表或待发表的论文第100-102页
致谢第102-103页

 
 
论文编号BS2234207,这篇论文共103
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