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蓝紫光敏感硅光电探测器的设计与制作 |
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论文目录 |
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摘要 | 第1-5页 | Abstract | 第5-8页 | 1 绪论 | 第8-13页 | ·课题背景及研究意义 | 第8-9页 | ·国内外研究现状 | 第9-11页 | ·课题来源及本文的主要研究内容 | 第11-13页 | 2 光电探测器的结构与工艺流程设计 | 第13-27页 | ·光电探测器的工作原理与材料选取 | 第13-14页 | ·光电二极管的工作原理 | 第13-14页 | ·光电探测器的材料 | 第14页 | ·光电探测器的结构设计与性能分析 | 第14-19页 | ·光电探测器的基本结构 | 第14-16页 | ·电极结构的优化设计 | 第16-18页 | ·光谱响应度的建模推导 | 第18-19页 | ·光电探测器的工艺流程设计 | 第19-27页 | ·半导体工艺介绍 | 第19-22页 | ·光电探测器工艺流程简介 | 第22-27页 | 3 光谱响应度测试系统设计 | 第27-37页 | ·硅光电二极管性能参数 | 第27-29页 | ·光谱响应度 | 第27-28页 | ·量子效率 | 第28-29页 | ·暗电流及伏安特性 | 第29页 | ·硅光电二极管响应度测试方案 | 第29-31页 | ·测量原理 | 第29-31页 | ·选择参考探测器 | 第31页 | ·光谱响应度测试系统实验装置简介 | 第31-37页 | ·出射光路设计 | 第34-35页 | ·PCB基座设计 | 第35-37页 | 4 光电探测器的性能测试 | 第37-45页 | ·光谱响应度测试 | 第37-40页 | ·光谱响应度测试步骤 | 第37页 | ·测试系统可行性验证 | 第37-38页 | ·硅光电二极管光谱响应度测试 | 第38-40页 | ·伏安特性测试 | 第40-42页 | ·探测器性能分析 | 第42-45页 | ·探测器光谱响应度性能分析 | 第42-43页 | ·探测器暗电流性能分析 | 第43-45页 | 5 与CMOS工艺兼容的蓝紫光探测器设计 | 第45-52页 | ·探测器的设计理论 | 第45-46页 | ·探测器的结构设计 | 第46-50页 | ·基本结构与工艺 | 第46-48页 | ·减反膜的优化设计 | 第48-50页 | ·光谱响应度仿真 | 第50-51页 | ·本章小结 | 第51-52页 | 结论 | 第52-53页 | 参考文献 | 第53-56页 | 附录A 光刻板 | 第56-59页 | 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第59-60页 | 致谢 | 第60-61页 |
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