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PDMS微流控芯片关键工艺技术研究

论文目录

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
第一章绪论	第8-16页
·微流控芯片概述	第8-9页
·构建微流控芯片的材料	第9-11页
·PDMS 微流控芯片关键工艺技术的研究现状	第11-14页
·高分子聚合物芯片微通道的制作	第11-12页
·高聚物微流控芯片表面的润湿性	第12-13页
·高聚物微流控芯片的键合	第13-14页
·本论文的目的、意义及研究内容	第14-16页
第二章 PDMS 结构、性能及成型工艺	第16-31页
·PDMS 结构	第16-17页
·PDMS 性能	第17-18页
·PDMS 的成型工艺	第18-31页
·旋涂	第18-21页
·膜厚度与甩胶机转数之间的关系	第21-22页
·影响PDMS 固化的主要参数—温度和时间	第22-23页
·PDMS 的成型工艺	第23-31页
第三章 PDMS 表面润湿性研究	第31-47页
·表面润湿性理论	第31-32页
·紫外光照射	第32-35页
·原理	第32-33页
·实验	第33-34页
·接触角测量	第34-35页
·氧等离子体处理	第35-47页
·实验	第37页
·PDMS 表面润湿性的测量与分析	第37-43页
·改性机理	第43-47页
第四章 PDMS 微流控芯片键合工艺研究	第47-56页
·两步固化法	第49-53页
·实验	第49-52页
·采用两步固化法的键合机理	第52-53页
·氧等离子体处理	第53-56页
·实验	第53-54页
·键合强度的测量及表征	第54-55页
·键合机理	第55-56页
第五章结束语	第56-57页
参考文献	第57-60页
个人简历	第60-61页
发表论文	第61-62页
致谢	第62-63页

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