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高致密氧化锡锑陶瓷靶材的电场活化烧结及其薄膜的磁控溅射沉积
 
     论文目录
 
摘要第1-7页
Abstract第7-13页
第1章 绪论第13-27页
   ·薄膜太阳能电池第13-14页
   ·透明导电氧化物薄膜第14-16页
     ·氧化铟锡(ITO)薄膜及其局限性第14-15页
     ·氧化锡锑(ATO)薄膜及其发展前景第15-16页
   ·ATO 薄膜的研究进展第16-22页
     ·ATO 薄膜的制备方法第16-20页
     ·磁控溅射制备 ATO 薄膜存在的问题第20-22页
   ·ATO 陶瓷靶材致密化的研究进展第22-24页
     ·添加烧结助剂提高致密度第22-23页
     ·采用新型烧结技术提高致密度第23-24页
     ·原料粉体性能对致密化的影响第24页
   ·论文工作的提出、研究目的和意义第24-25页
   ·论文的主要研究内容第25-27页
第2章 ATO 纳米粉体的非水基溶胶凝胶制备及其组成结构表征第27-38页
   ·引言第27-28页
   ·实验与测试第28-31页
     ·实验原料第28-29页
     ·实验设计与工艺流程第29-30页
     ·分析测试第30-31页
   ·ATO 纳米粉体的非水基溶胶凝胶制备及其组成结构表征第31-36页
     ·络合剂含量对 ATO 纳米粉体的组成及结构的影响第31-34页
     ·锑掺杂含量对 ATO 纳米粉体的组成及结构的影响第34-36页
   ·本章小结第36-38页
第3章 ATO 纳米陶瓷的电场活化烧结制备、致密化机理及导电性能研究第38-71页
   ·引言第38页
   ·实验与测试第38-41页
     ·实验原料第38-39页
     ·实验设计与工艺流程第39页
     ·分析测试第39-41页
   ·ATO 纳米陶瓷的电场活化烧结制备及其致密化第41-54页
     ·烧结温度对 ATO 纳米陶瓷显微结构及致密度的影响第41-45页
     ·升温速率对 ATO 纳米陶瓷显微结构及致密度的影响第45-47页
     ·烧结压力对 ATO 纳米陶瓷显微结构及致密度的影响第47-49页
     ·锑掺杂含量对 ATO 纳米陶瓷显微结构及致密度的影响第49-51页
     ·样品尺寸对 ATO 纳米陶瓷显微结构及致密度的影响第51-54页
   ·ATO 纳米导电陶瓷的电场活化烧结致密化机理第54-66页
     ·电场活化烧结过程中 ATO 纳米陶瓷的结构演变第54-57页
     ·电场活化烧结过程中电场分布的变化第57-61页
     ·电场活化烧结过程中热场分布的变化第61-63页
     ·ATO 纳米导电陶瓷的电场活化烧结致密化机理第63-66页
   ·高致密 ATO 纳米陶瓷的导电性能研究第66-69页
     ·锑掺杂含量对 ATO 陶瓷导电性能的影响第66-67页
     ·晶粒尺寸对 ATO 陶瓷导电性能的影响第67-68页
     ·高致密 ATO 纳米陶瓷导电机理的研究第68-69页
   ·本章小结第69-71页
第4章 ATO 薄膜的磁控溅射沉积及其导电、光学性能研究第71-121页
   ·引言第71页
   ·实验与测试第71-77页
     ·实验原料第71-73页
     ·实验设计与工艺流程第73-75页
     ·分析测试第75-77页
   ·靶材致密度对 ATO 薄膜组成结构及性能的影响第77-87页
     ·不同致密度 ATO 靶材溅射前后组成结构对比第77-81页
     ·靶材致密度对 ATO 薄膜化学组成与化学结构的影响第81-84页
     ·靶材致密度对 ATO 薄膜导电性能的影响第84-85页
     ·靶材致密度对 ATO 薄膜光学性能的影响第85-87页
   ·靶材组成对 ATO 薄膜组成结构及性能的影响第87-88页
   ·退火处理对 ATO 薄膜组成结构及性能的影响第88-97页
     ·退火处理对 ATO 薄膜物相组成与显微形貌的影响第88-91页
     ·退火处理对 ATO 薄膜化学组成与化学结构的影响第91-95页
     ·退火处理对 ATO 薄膜导电性能的影响第95-96页
     ·退火处理对 ATO 薄膜光学性能的影响第96-97页
   ·氧气分压对 ATO 薄膜组成结构及性能的影响第97-105页
     ·氧气分压对 ATO 薄膜物相组成与显微形貌的影响第97-101页
     ·氧气分压对 ATO 薄膜化学组成与化学结构的影响第101-102页
     ·氧气分压对 ATO 薄膜导电性能的影响第102-104页
     ·氧气分压对 ATO 薄膜光学性能的影响第104-105页
   ·沉积温度对 ATO 薄膜组成结构及性能的影响第105-112页
     ·沉积温度对 ATO 薄膜物相组成与显微形貌的影响第105-108页
     ·沉积温度对 ATO 薄膜化学组成与化学结构的影响第108-109页
     ·沉积温度对 ATO 薄膜导电性能的影响第109-111页
     ·沉积温度对 ATO 薄膜光学性能的影响第111-112页
   ·溅射功率对 ATO 薄膜组成结构及性能的影响第112-118页
     ·溅射功率对 ATO 薄膜物相组成与显微形貌的影响第112-115页
     ·溅射功率对 ATO 薄膜化学组成与化学结构的影响第115-116页
     ·溅射功率对 ATO 薄膜导电性能的影响第116-117页
     ·溅射功率对 ATO 薄膜光学性能的影响第117-118页
   ·ATO 薄膜的性能评价第118-119页
   ·本章小结第119-121页
第5章 结论第121-123页
参考文献第123-131页
攻读博士期间发表论文及申请专利情况第131-133页
致谢第133页

 
 
论文编号BS2301709,这篇论文共133
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