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用CFD方法优化设计ISO5级(百级)洁净室
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摘要：由于ISO5级（百级）洁净室运行能耗较大，考虑到节能的必要性，本文利用计算流体动力学（CFD）方法对拟采用风机过滤器单元（FFU）洁净空调方案的ISO5级电子工业洁净室进行模拟，得出室内气流速度场，分析其性能，并通过理论公式计算所能达到的洁净度。我们认为结合洁净室的具体用途，通过合理布置末端FFU送风口位置及选择回风形式，以及选择较高级别的末端过滤器，可以在满布率较低时达到较高的洁净度级别。利用CFD模拟技术可以为设计高效能的洁净室系统提供依据。
关键词：洁净室 计算流体动力学 风机过滤器单元 满布率 节能
1 引言
洁净室空调系统经典的方案是采用中央空调和三级过滤器集中送风，通过大型风道将已经处理的空气送至过滤器的接联管道，然后经高效空气过滤器（HEPA Filter）或者超高效空气过滤器（ULPA
Filter）送到洁净室。而另一种方案是采用室内循环风就地冷却，利用干冷却盘管解决新风不能提供全部冷负荷的问题，同时利用风机过滤器单元来进行空气循环。每种方式各有一定的适用范围，风机过滤器单元（FFU）因其灵活性大,即可通过置换盲板来提高局部区域的洁净度、占用空间较少等优点得到越来越多的应用，尤其适合于旧厂房的改造及技术更新较快的工程。虽然FFU系统成本较高，而从综合投资角度，分析认为采用FFU方式在末端过滤器铺设率为25%－30%时较为有利【1】。
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