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影响半导体工业最新的法规与标准
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摘要：本文主要告知读者影响半导体工业最新的法规与标准最新的变革，我们将涵盖典型的法规、工业标准、国家防火协会（NFPA）标准和最近火灾试验的发展情形。
关键词：半导体工业 建筑法规 工业标准 NFPA标准
本文主要告知读者影响半导体工业最新的法规与标准最新的变革，我们将涵盖典型的法规、工业标准、国家防火协会（NFPA）标准和最近火灾试验的发展情形。一个晶圆厂的单位面积建造成本不断创新高。从过去20年来发生第一个火灾案例至今，最近五年内的灾例尤其重要。除了近几年远东地区两个洁净室被大火烧毁外，所有被摧毁的仍不是现在洁净室所关心的话题。大部分新的FAB有装设基本的洒水系统来保护，过去也常不定期发生小火，也很快复原。虽然今天火灾很少发生，但损失都高达数千万元。复原时间越来越长，商机中断损失也快速增加。最小的火灾会中断作业，导致人员疏散。被烟污染的洁净室，可预见必须清洗人员逃生时所穿的服装；也必须清理被烟所污染的零件和设备；并需重新稳定和校正大部分的机台，这些工作都需花数天来完成。因此有相当多的火灾法规与标准应用在高度管理的半导体工业，并不令人惊讶。最近很多法规与标准的变革对新FAB的建造和已运转的新旧FAB产生冲击，这些更新版本有半导体设备和材料国际指引（SEMI）；S14”半导体制造设备风险评估与削减安全指引”；S2第14节设备火灾防护；NFAP 318洁净室保护标准－2000年版；被提议新的NFPA建筑法规；FM测试协议4910；UL测试协议2360和SEMATECH ESHC006计划 #98123623A报告。以下依序介绍之：
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